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Nanotecnologie - MET-EGERIA

Apparato di litografia nell'estremo ultravioletto MET-EGERIA per applicazioni in microelettronica, nanobiologia, fotonica e anticontraffazione
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Sarah Bollanti, Paolo Di Lazzaro, Francesco Flora, Luca Mezi, Daniele Murra, Raffaele Scafè, Amalia Torre
ENEA, Dipartimento Tecnologie Fisiche e Nuovi Materiali

Presso il Laboratorio Eccimeri del Centro Ricerche ENEA di Frascati è stato realizzato un apparato di litografia nell’estremo ultravioletto (EUV) denominato Micro Exposure Tool (MET) EGERIA. È il primo apparato italiano di litografia nell’estremo ultravioletto (EUV) e uno dei pochissimi sistemi laboratory-scale, compatti e a basso costo, a livello internazionale in grado di riprodurre un disegno arbitrario su supporto plastico o luminescente tramite un sistema di proiezione/ riduzione ad elevatissima risoluzione spaziale.

In particolare, il MET-EGERIA ha realizzato disegni litografici con 90 nanometri di risoluzione spaziale. Si tratta di un risultato di assoluta rilevanza internazionale, che supera i risultati ottenuti dal Fraunhofer Institut di Jena (Germania) e dal CEA-LETI a Grenoble (Francia).

Il MET-EGERIA è completo, operativo e funzionante.

L’apparato trova applicazione in diversi ambiti strategici nel campo delle nanotecnologie, come la litografia di prossima generazione per l’elettronica, la fotonica, le nano- biotecnologie e, non ultima, l’anticontraffazione tramite una tecnica di marchiatura invisibile di tipo watermarking. Le etichette anticontraffazione prodotte con la tecnica brevettata dall’ENEA possono essere applicate a tutti gli oggetti che necessitano di essere tracciati o protetti dal mercato parallelo degli oggetti contraffatti. La versatilità della tecnologia ENEA consente anche di tracciare sostanze pericolose come i rifiuti radioattivi nelle discariche, onde contrastare lo smaltimento non autorizzato e/o non conforme alla legge di tali sostanze: è stato, infatti, provato sperimentalmente che le etichette anticontraffazione prodotte con il metodo brevettato resistono a dosi massicce di irraggiamento radioattivo.

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Il Gruppo che ha condotto la ricerca. Da sinistra: S. Bollanti, D. Murra, P. Di Lazzaro, A. Torre, L. Mezi, F. Flora. Nella foto manca R. Scafè

Per informazioni: paolo.dilazzaro@enea.it

Approfondimenti:

 Filmato

Intervista a Paolo Di Lazzaro: La litografia al servizio della Ricerca

Risultati conseguiti, Avvio e sviluppo della ricerca, Prospettive e possibili applicazioni, Collaborazioni, Energia, Ambiente e Innovazione, n. 2/2009

Riconoscimenti ottenuti